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FFPM全氟橡胶O型圈

FFPM全氟橡胶O型圈

FFPM全氟橡胶O型圈

类型 颜色硬度 硬度(IRHD) 最高温度(oC) 接触的结果 等级 成本
FKM 黑色 65~95 200 全部分解成粉 很差 1
FFKM1 白色 80 230+ 表面变薄,有一层白色粉末 很好 21
FFKM2 白色 80 230+ 表面变薄,有一层白色粉末 很好 21
硅橡胶1 白色 70 220 分解成粉,只留下薄的核心 差 1
硅橡胶2 红色 70 220 分解成粉,只留下薄的核心 差 1
FFKM3 黑色 80~90 300+ 无损伤,无可见的分解 好 23
FFKM4 黑色 66 230+ 无损伤,无可见的分解 好 14
目前半导体制造业对全氟橡胶有最大的需求。例如,无水蚀刻法要求门和窗,以及排气阀都能耐受腐蚀性很高的化学品;在光学掩蔽过程中,滤光器、电耦和阀门所用的密封垫也存在类似的需要;等离子CVD(即化学气相淀积)过程中,真空舱、箱盖等所用的密封垫都必须能耐等离子体破坏;在阴极真空和喷镀方法中,要求密封垫具有最低程度的漏气速率。
某半导体配件制造商将能承受化学等离子体攻击几种可能用到的材料制成密封垫,进行了大量试验,结果见表7(试验方法及条件略)。试验后外观检查发现,全氟橡胶样本保持了平滑的表面状态,这表明材料没有发生明显分解。事实上,所有测试的全氟橡胶都没有明显的破坏,而氟橡胶和硅橡胶类则完全分解。
   如果您有其他特殊密封件方面的需求,请直接与我公司联系,我公司将为您提供任何一种特殊规格的订货服务。
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